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Thin film deposition : principles and practice /

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Bibliographic Details
Main Author: Smith, Donald Leonard
Format: Book
Language: English
Published: Boston : McGraw-Hill, c1995.
Subjects:
Películas delgadas
Revestimientos
Tecnología del vacio
Notas Contenido:
  • Thin film technology
  • Gas kinetics
  • Vacuum tecnhology
  • Evaporation
  • Deposition
  • Epitaxy
  • Chemical vapor deposition
  • Energy beams
  • Glow discharge plasmas
  • Film analysis.
Description
Physical Description:xxiii, 616 páginas : ilustraciones ; 24 cm.
Bibliography:Incluye referencias bibliográficas e índices
ISBN:9780070585027

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