Thin film deposition : principles and practice /

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Smith, Donald Leonard
Format: Book
Language: English
Published: Boston : McGraw-Hill, c1995.
Subjects:
Notas Contenido:
  • Thin film technology
  • Gas kinetics
  • Vacuum tecnhology
  • Evaporation
  • Deposition
  • Epitaxy
  • Chemical vapor deposition
  • Energy beams
  • Glow discharge plasmas
  • Film analysis.

MARC

LEADER 00000nam a2200000 a 4500
001 000003562
003 CO-BoSNA
005 20251227053701.0
008 051017t1995^^^^xxua^^^fr^^^^^000^0^eng^d
020 |a 9780070585027 
040 |a CO-BoSNA  |b spa 
041 0 |a eng 
043 |a n-xxu-- 
082 0 4 |a 621.38152  |b S642t  |2 22 
100 1 |a Smith, Donald Leonard 
245 1 0 |a Thin film deposition :  |b principles and practice /  |c Donald L. Smith. 
260 |a Boston :  |b McGraw-Hill,  |c c1995. 
300 |a xxiii, 616 páginas :  |b ilustraciones ;  |c 24 cm. 
504 |a Incluye referencias bibliográficas e índices 
505 2 |a Thin film technology -- Gas kinetics -- Vacuum tecnhology -- Evaporation -- Deposition -- Epitaxy -- Chemical vapor deposition -- Energy beams -- Glow discharge plasmas -- Film analysis. 
650 1 7 |a Películas delgadas  |2 Armarc 
650 1 7 |a Revestimientos  |2 Armarc 
650 1 7 |a Tecnología del vacio  |2 Armarc 
952 |0 0  |1 0  |4 11  |6 621_381520000000000_S642T  |7 0  |8 GENER  |9 36376  |a 76230  |b 76230  |d 2009-09-07  |i 092/09  |l 0  |o 621.38152 S642t  |p 769230002915  |r 2025-12-27 05:37:01  |t Ej. 1  |w 2025-12-27  |x Proveedor Mercaworld.  |y BOOK  |z Calle 52 No. 2 Bis-15, Cali 
999 |c 7562  |d 7562 
942 |6 621_381520000000000__S642T